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    2022-8-27

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二次电子是由于被入射电子“碰撞”而获得能量,逃出样品表面的核

二次电子是由于被入射电子“碰撞”而获得能量,逃出样品表面的核外电子,其主要特点是:

(1)能量小于50ev,较易被检测器前端的电场吸引,因而阴影效应较弱。

(2)只有样品表面很浅(约10nm)的部分激发出的二次电子才能逃出样品表面,扫描电镜型号,因此二次电子像分辨率较高。

(3)二次电子的产额主要取决于样品表面局部斜率,因此二次电子像主要是形貌像。

可看成由许多不同倾斜程度的面构成的凸尖、台阶、凹坑等细节组成,这些细节的不同部位发射的二次电子数不同,从而产生衬度。

二次电子像分辨率高、无明显阴影效应、场深大、立体感强,是扫描电镜的主要成像方式,---适用于粗糙样品表面的形貌观察。


扫描系统的作用是使入射电子束在样品表面上作有规则的扫动

扫描系统的作用是使入射电子束在样品表面上作有规则的扫动,并与阴极射线管电子束在荧光屏上能够同步扫描,改变入射电子束在样品表面上的扫描振幅,以获得所需放大倍数的图像。扫描系统主要由扫描发生器、扫描线圈、放大倍率变换器组成。在入射电子作用下,样品表面上产生的各种物理信号被检测并经转换放大成用以调制图像或作其它分析的信号,这一过程就是由该系统来完成的。对于不同的物理信号要用不同的检测器来检测。目前扫描电镜常用的检测器主要是电子检测器,x射线检测器。


电子束引---流(electron-beam induced current ,天津扫描电镜, ebic):当一个p-n接面(junction)经电子束照射后,会产生过多的电子-空位对,这些载子扩散时被p-n接面的电场收集,外加线路时即会产生电流。阴极发光(cathodoluminescence):当电子束产生之电子-空位对再结合时,扫描电镜,会放出各种波长电磁波,此为阴极发光(cl),扫描电镜多少钱一台,不同材料发出不同颜色之光。样品电流(specimen current):电子束射到样品上时,一部份产生二次电子及背向散射电子,另一部份则留在样品里,当样品接地时即产生样品电流。


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