当电子束照射到样品上，电子便会与样品发生多种反应。其中部分电子可以直接透过样品；部分电子被样品散射开来；另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来，并使它们成像，便可以构成不同类型的电子显微镜。其中，把样品表面反射回来的电子收集起来并成像，这种电子显微镜叫做扫描电子显微镜。
扫描电镜的试样制备 扫描电镜一个---的特点就是对样品的适应性很大，所有的固态样品，无论是块状的、粉末的、金属的、非金属的、有机的、无机的都可以观察。而且样品的制备比较简单，但仍需要一定的技术和要求，否则就不能达到满意的结果。一般的扫描电镜对样品的要求主要有：适当的大小和---的导电性。扫描电镜景深长成像越立体。
镀导电膜的选择，在放大倍率低于1000倍时，可以镀一层较厚的au，以提高导电度。放大倍率低于10000倍时，可以镀一层au来增加导电度。放大倍率低于100000倍时，可以镀一层pt或au-pd合金，在超过100000时，以镀一层超薄的pt或cr膜较佳。电子束与样品作用，当内层电子被击出后，外层电子掉入原子内层电子轨道而放出x，天津台式电镜，不同原子序，天津台式电镜，不同能阶电子所产生的x各不相同，称为特征x，分析特征x，可分析样品元素成份。
场发射电子所选用的阴极材料必需是高强度材料，以能承受高电场所加诸在阴极的高机械应力，台式电镜分辨率，钨即因高强度而成为较佳的阴极材料。场发射通常以上下一组阳极来产生吸取电子、---、及加速电子等功能。利用阳极的特殊外形所产生的静电场，能对电子产生---效果，所以不再需要韦氏罩或栅极。(上)阳极主要是改变场发射的拔出电压(extraction voltage)，台式电镜多少钱一台，以控制针尖场发射的电流强度，而第二(下)阳极主要是决定加速电压，以将电子加速至所需要的能量。
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