二次电子(secondary electr):电子束和样品作用,可将传导能带(conduction band)的电子击出,此即为二次电子,其能量约 < 50ev。由于是低能量电子,所以只有在距离样品表面约50~500?---范围内所产生之二次电子,才有机会逃离样品表面而被侦测到。由于二次电子产生的数量,会受到样品表面起伏状况影响,所以二次电子影像可以观察出样品表面之形貌特征。:入射电子和样品进行非弹性碰撞可产生连续x和特征x,前者系入射电子减速所放出的连续光谱,形成背景决定少分析之量,后者系特定能阶间之能量差,可藉以分析成分元素。
扫描系统的作用是使入射电子束在样品表面上作有规则的扫动,并与阴极射线管电子束在荧光屏上能够同步扫描,改变入射电子束在样品表面上的扫描振幅,以获得所需放大倍数的图像。扫描系统主要由扫描发生器、扫描线圈、放大倍率变换器组成。在入射电子作用下,天津场发射扫描电镜价格,样品表面上产生的各种物理信号被检测并经转换放大成用以调制图像或作其它分析的信号,天津场发射扫描电镜,这一过程就是由该系统来完成的。对于不同的物理信号要用不同的检测器来检测。目前扫描电镜常用的检测器主要是电子检测器,x射线检测器。
价钱便宜使用普遍的是钨灯丝,以热游离 (thermionization) 式来发射电子,电子能量散布为 2 ev,天津场发射扫描电镜多少钱一台,钨的功函数约为4.5ev,钨灯丝系一直径约100μm,弯曲成v形的细线,操作温度约2700k,电流密度为1.75a/cm2,在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小,使用寿命约为40~80小时。
六硼化---(lab6)灯丝的功函数为2.4ev,较钨丝为低,因此同样的电流密度,使用lab6只要在1500k即可达到,而且亮度更高,因此使用寿命便比钨丝高出许多,电子能量散布为 1 ev,比钨丝要好。但因lab6在加热时活性很强,所以必须在较好的真空环境下操作,因此仪器的购置费用较高。
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