影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
a.入射电子束光斑直径:扫描电镜分辨能力的---一般来说,河北台式电镜,热阴极电子的小束斑直径可以减小到6nm,场发射电子可以使束斑直径小于3nm
b.入射电子束在样品中的膨胀效应:扩散程度取决于入射电子的能量和样品的原子序数束流能量越高,样品的原子序数越小,电子束的相互作用体积越大,信号产生区域随电子束的扩散而增大,从而降低了分辨率
c.使用的成像方式和调制信号:当二次电子作为调制信号时,由于其能量低(小于50ev),平均自由程短(10~100 nm左右),台式电镜型号,只有表面50-100nm范围内的二次电子才能从样品表面逸出,散射次数非常有限基本上不向侧面延伸,所以二次电子像的分辨率大约等于束斑直径.
当电子束照射到样品上,电子便会与样品发生多种反应。其中部分电子可以直接透过样品;部分电子被样品散射开来;另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来,并使它们成像,便可以构成不同类型的电子显微镜。其中,把样品表面反射回来的电子收集起来并成像,这种电子显微镜叫做扫描电子显微镜。
扫描电镜的试样制备 扫描电镜一个---的特点就是对样品的适应性很大,所有的固态样品,无论是块状的、粉末的、金属的、非金属的、有机的、无机的都可以观察。而且样品的制备比较简单,但仍需要一定的技术和要求,台式电镜分辨率,否则就不能达到满意的结果。一般的扫描电镜对样品的要求主要有:适当的大小和---的导电性。扫描电镜景深长成像越立体。
场发射扫描电镜(fesem)是电子显微镜的一种,其原理是利用二次电子或背散射电子成像,对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察,同时利用电子激发出样品表面的特征x射线来对微区的成分进行定性定量分析,是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。
扫描电镜按照电子分类可以分为钨(w)灯丝、六硼化---(lab6)灯丝、场发射 (field emission)三种,场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化---,具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。
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