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光圈衍射像差(aperture diffraction):由于电子束通过小光圈电子束产生衍射现象，使用大光圈可以---。色散像差(chromatic aberration):因通过透镜电子束能量差异，天津台式电镜型号，使得电子束---后并不在同一点上。

电子束和样品作用体积(interaction volume)，作用体积约有数个微米(μm)深，天津台式电镜，其---大过宽度而形状类似梨子。此形状乃源于弹性和非弹性碰撞的结果。低原子量的材料，非弹性碰撞较可能，电子较易穿进材料内部，较少向边侧碰撞，而形成梨子的颈部，当穿透的电子丧失能量变成较低能量时，弹性碰撞较可能，结果电子行进方向偏向侧边而形成较大的梨形区域。

扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征（如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等）的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子，其中二次电子是主要的成像信号。图3为其成像原理图，高能电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的接受物理信号转换成图像信息。