光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于电子束波长远较可见光小，故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率高只有约1500倍，扫描式显微镜可放大到10000倍以上。
根据de broglie波动理论，电子的波长仅与加速电压有关：
λe=h / mv= h / (2qmv)1/2=12.2 / (v)1/2 (?)
在 10 kv 的加速电压之下，电子的波长仅为0.12?，远低于可见光的4000 - 7000?，所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜---许多，但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100?之间，电子与原子核的弹性散射 (elastic scattering) 与非弹性散射 (inelastic scattering) 的反应体积又会比原有的电子束直径增大，天津台式电镜多少钱一台，因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。
对微区成分分析而言，分辨率指能分析的小区域；对成像而言，它是指能分辨两点间的小距离。sem分辨率主要受三方面影响：入射电子束束斑直径、入射电子束在样品中的扩展效应、成像方式及所用的调制信号。二次电子像的分辨率约为5-10nm，背散射电子像的分辨率约为50-200nm。一般来说sem分辨率指的是二次电子像的分辨率。
放大倍数：m = l/i，其中l是显像管尺寸，天津台式电镜，i是光栅扫描时相邻两点间距。m通过调节扫描线圈电流进行，天津台式电镜分辨率，电流小则电子束偏转角度小，放大倍数增大。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择，与分辨率保持一定关系。
电子的---特性是亮度要高、电子能量散布 (energy spread) 要小，目前常用的种类计有三种，钨(w)灯丝、六硼化---(lab6)灯丝、场发射 (field emission)，不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。
热游离方式电子有钨(w)灯丝及六硼化---(lab6)灯丝两种，它是利用高温使电子具有足够的能量去克服电子材料的功函数(work function)能障而逃离。对发射电流密度有重大影响的变量是温度和功函数，天津台式电镜，但因操作电子时均希望能以低的温度来操作，以减少材料的挥发，所以在操作温度不提高的状况下，就需采用低功函数的材料来提高发射电流密度。
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