迈基尔-扫描电镜分辨率-河北扫描电镜

电子显微镜利用电子成像，类似于光学显微镜使用可见光成像。由于电子的波长远小于光的波长，所以电子显微镜的分辨率要高于光学显微镜的分辨率。扫描电子显微镜（scanning electron microscope，sem），简称扫描电镜，已成为功能强、用途广的材料表征工具，已广泛应用于材料，冶金，矿物，生物学等领域，如图1所示为蔡司场发射扫描电镜。sem主要组成部分是：电子光学系统，信号收集处理系统，扫描电镜，图像显示和记录系统，真空系统，电源及控制系统等。

光圈衍射像差(aperture diffraction):由于电子束通过小光圈电子束产生衍射现象，使用大光圈可以---。色散像差(chromatic aberration):因通过透镜电子束能量差异，使得电子束---后并不在同一点上。

电子束和样品作用体积(interaction volume)，扫描电镜型号，作用体积约有数个微米(μm)深，河北扫描电镜，其---大过宽度而形状类似梨子。此形状乃源于弹性和非弹性碰撞的结果。低原子量的材料，非弹性碰撞较可能，电子较易穿进材料内部，较少向边侧碰撞，而形成梨子的颈部，当穿透的电子丧失能量变成较低能量时，弹性碰撞较可能，结果电子行进方向偏向侧边而形成较大的梨形区域。