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电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及x射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、x射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然x射线信号不能用于成象，天津扫描电镜多少钱一台，但习惯上，天津扫描电镜，仍然将x射线分析系统划分到成象系统中。

有些探测器造价昂贵，比如robins式背散射电子探测器，这时，可以使用二次电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。

在sem中，电子束以栅网模式扫描样品。首先，电子在镜筒顶部生成电子。当电子的热能超过了源材料的功函数时，就会被释放出来，然后它们加速向带有正电荷的阳---速移动。整个电子镜筒必须处于真空状态。

像电子显微镜的所有组件一样，电子也被密封在特殊的真空室中以保护它不受污染、振动和噪音的影响。除了保护电子不受污染，真空环境有利于得到高分辨率图像。

若非真空环境，镜筒中可能存在其他原子和分子，它们与电子相互作用，使电子束发生偏转，从而降低图像。高真空环境也提高了镜筒内检测器对电子的收集效率。