电子显微镜利用电子成像,类似于光学显微镜使用可见光成像。由于电子的波长远小于光的波长,所以电子显微镜的分辨率要高于光学显微镜的分辨率。扫描电子显微镜(scanning electron microscope,sem),天津扫描电镜型号,简称扫描电镜,已成为功能强、用途广的材料表征工具,已广泛应用于材料,冶金,矿物,生物学等领域,如图1所示为蔡司场发射扫描电镜。sem主要组成部分是:电子光学系统,信号收集处理系统,图像显示和记录系统,真空系统,电源及控制系统等。
电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,天津扫描电镜,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及x射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、x射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然x射线信号不能用于成象,但习惯上,天津扫描电镜分辨率,仍然将x射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵,比如robins式背散射电子探测器,这时,可以使用二次电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。
扫描电镜的工作原理 在高压作用下,由于热阴极发射出的电子经阴极、栅极、阳极之间的电场---、加速,在栅极与阳极之间形成一个具有---能量的电子束斑,称之为电子源。这个电子束斑再经聚光镜压缩,会聚成极细的电子束并---在样品表面上,天津扫描电镜,这个高能量细---的电子束在扫描线圈的作用下,在样品表面上进行扫描,与样品相互作用,激发出各种物理信号。各种物理信号的强度与样品的表面特征相关,可以用相应的探测器分别对其检测、放大、成像,用于各种微观分析。扫描电子显微镜主要收集的信号是二次电子和倍射电子。
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