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在固定电子能量时，作用体积和原子序成反比，乃因弹性碰撞之截面积和原子序成正比，天津扫描电镜价格，以---子较易偏离原来途径而不能深入样品。电子束能量越大，弹性碰撞截面积越小，天津扫描电镜多少钱一台，电子行走路径倾向直线而可深入样品，作用体积变大。电子束和样品的作用有两类，一为弹性碰撞，几乎没有损失能量，另一为非弹性碰撞，入射电子束会将部份能量传给样品，而产生二次电子、背向散射电子、俄歇电子、长波电磁、电子-空位对等。这些信号可供sem运用者有二次电子、背向散射电子、阴极发光、吸收电子及电子束引起电流(ebic) 等。

离子溅射镀膜

原理：离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极（靶）和阳极（试样）间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。

特点：对于任何待镀材料，只要能做成靶材，就可实现溅射（适合制备难蒸发材料，不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料）；溅射所获得的薄膜和基片结合较好；溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。