微区成分分析而言,分辨率指能分析的小区域

对微区成分分析而言，分辨率指能分析的小区域；对成像而言，它是指能分辨两点间的小距离。sem分辨率主要受三方面影响：入射电子束束斑直径、入射电子束在样品中的扩展效应、成像方式及所用的调制信号。二次电子像的分辨率约为5-10nm，背散射电子像的分辨率约为50-200nm。一般来说sem分辨率指的是二次电子像的分辨率。

放大倍数：m = l/i，其中l是显像管尺寸，i是光栅扫描时相邻两点间距。m通过调节扫描线圈电流进行，电流小则电子束偏转角度小，放大倍数增大。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择，与分辨率保持一定关系。

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:

a.入射电子束光斑直径:扫描电镜分辨能力的---一般来说,热阴极电子的小束斑直径可以减小到6nm,场发射电子可以使束斑直径小于3nm

b.入射电子束在样品中的膨胀效应:扩散程度取决于入射电子的能量和样品的原子序数束流能量越高,样品的原子序数越小,电子束的相互作用体积越大,信号产生区域随电子束的扩散而增大,从而降低了分辨率

c.使用的成像方式和调制信号:当二次电子作为调制信号时,由于其能量低(小于50ev),平均自由程短(10~100 nm左右),只有表面50-100nm范围内的二次电子才能从样品表面逸出,散射次数非常有限基本上不向侧面延伸,所以二次电子像的分辨率大约等于束斑直径.

光学显微镜以可见光为介质

光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于电子束波长远较可见光小，故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率高只有约1500倍，扫描式显微镜可放大到10000倍以上。

根据de broglie波动理论，电子的波长仅与加速电压有关：

λe=h / mv= h / (2qmv)1/2=12.2 / (v)1/2 (?)

在 10 kv 的加速电压之下，电子的波长仅为0.12?，远低于可见光的4000 - 7000?，所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜---许多，但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100?之间，电子与原子核的弹性散射 (elastic scattering) 与非弹性散射 (inelastic scattering) 的反应体积又会比原有的电子束直径增大，因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。